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                  SU-8 2000系列

                  香港電子SU-8系列.png

                  SU 8膠是一種負性化學放大膠,適合i線,Xray,E-beam曝光。具有非常好的熱穩定性,抗刻蝕性、高分辨率

                  、高深寬等特點。對紫外線350~400nm波段曝光最為敏感。即使在非常厚的光刻膠曝光情況下,曝光均勻一致,

                  可以獲得垂直邊壁。